半干法脱硫包括喷雾干燥法、半干半湿法、粉末喷动床脱硫和烟道喷射脱硫。喷雾干燥法利用机械或气流分散吸收剂成雾状，与烟气反应，脱硫率达65％～85％，且生成物易处理、耗水少，但自动化要求高、吸收剂用量难控制、效率不高。半干半湿法适用于中小锅炉，投资少、运行费用低，脱硫率达70％以上，腐蚀性小、占地少、工艺可靠。粉末喷动床法用石灰石或消石灰做脱硫剂，脱硫率和利用率都很高，对环境影响小，但要求严格控制进气温度、床内相对湿度和反应温度，否则会出现脱硫剂粘壁现象。

喷雾干燥法脱硫是利用机械或气流将吸收剂分散成细小的雾状液滴，增大液滴与烟气的接触面积，通过热量交换、质量传递和化学反应实现脱硫。通常使用的吸收剂包括碱液、石灰乳、石灰石浆液等，其中石灰乳是最常用的吸收剂。该方法的脱硫率可达65％～85％，具有工艺设备简单、生成物易于处理、设备腐蚀和堵塞情况较少、耗水较低等优点。但自动化要求比较高，吸收剂用量难以控制，吸收效率不太高。
半干半湿法脱硫是介于湿法和干法之间的一种脱硫方法，其效率和脱硫剂利用率等参数也介于两者之间，适用于中小锅炉的烟气治理。该技术的特点是投资少、运行费用低，脱硫率虽低于湿法脱硫但仍可达到70％且腐蚀性小、占地面积少。相较于湿法脱硫系统而言，它省略了制浆系统并将水溶液改喷成粉末状吸收剂和水雾。与干法脱硫系统相比，它克服了SO2和CaO反应效率低、反应时间长的缺点，提高了脱硫剂的利用率且工艺简单。

粉末一颗粒喷动床半干法烟气脱硫法的原理是，将含SO2的烟气通过预热器后进入粉粒喷动床，预先制成粉末状的脱硫剂与水混合后以浆料形式从喷动床的顶部连续喷入床内，与喷动粒子充分混合，通过和热烟气的接触实现脱硫和干燥。脱硫反应后的产物以干态粉末形式从分离器中吹出。该方法具有很高的脱硫率及脱硫剂利用率，且对环境影响小。但进气温度、床内相对湿度、反应温度等有严格要求，如果浆料的含湿量和反应温度控制不当，会造成脱硫剂粘壁现象。